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  • 復合離子注入機

    圖片 2121.png

    鉛屏蔽箱體整體安裝結構照片

    圖片 2115.png


    高能氣體離子源(左上側)、高能金屬離子源(右上側)

    圖片 2088.png

    移動式樣品平臺架(真空室內部)

    技術參數

    主要功能:利用高能離子束注入摻雜與基體相互作用,提升金屬樣品表面耐磨損、抗腐蝕性能,改變介質材料表層介電特性,改善聚合物材料表面性能,改變生物材料基因特性等。設備配置一套高能氣體離子源和一套高能金屬離子源,可實現不同氣體離子和不同金屬離子的單元素、多元素或混合元素注入。配置移動式加熱和水冷樣品平臺,可對注入樣品進行加熱或冷卻處理。適用于實驗研究和小量樣品試驗。

    1

    鉛屏蔽箱體整體結構

    外圍幾何尺寸:W3185mm×H2042mm×D1800mm,不包含風冷式水冷機組和空壓機,噪音≤56dB。

    2

    真空室

    Φ600mm×800mm,臥式安裝,單層304不銹鋼,左上設置高能氣體離子源、右上測設置高能金屬離子源,真空室底部設置分子泵管道法蘭接口、接真空抽氣系統管道,前后兩端平板門可全開、前后兩端平板門中心設置觀察窗;極限真空壓強<2×10-4Pa,系統漏率<1×10-9Pam3/S,壓升率<0.5Pa/h。

    3

    高能氣體離子源

    10KeV~70KeV,束斑直徑Φ100mm,在Φ100mm束斑直徑范圍內離子流可達5mA,離子束流不均勻性小于±15%;具有注入劑量檢測和控制。

    4

    高能金屬離子源

    加速電壓10KeV~50KeV,束斑直徑Φ100mm,在Φ100mm束斑直徑范圍內離子流可達5mA,離子束流不均勻性<±15%。具有陰極自動推進功能;具有注入劑量檢測和控制;可精確控制注入時間(秒量級)。

    5

    移動式樣品平臺架

    直徑Φ100mm,具有加熱和冷卻功能??筛鼡Q加熱和冷卻樣品臺臺面??汕昂笃揭贫ㄎ挥陔x子源正下方。在冷卻工作方式下,樣品臺可通入冷卻水(水溫5℃~25℃,由冷水機控溫)。在加熱工作方式下,樣品臺用鹵素燈加熱,最高加熱溫度500℃,用溫度控制儀調節溫度,用熱偶檢測加熱樣品臺背面溫度。

    6

    控制系統

    PLC+觸摸屏

    7

    離子能量

    ≤100KeV

    8

    離子劑量

    ≥1×1017/cm2 h

    9

    離子類型

    N、C、H、Ti、Ag……

    10

    供電要求

    三相五線制50Hz/60Hz、3×AC380V(±5%)-N+PE,功率15KVA。具備獨立高壓接地體,接地電阻≤1Ω

    11

    環境要求

    溫度:0℃~40℃;濕度:<90%相對濕度,無冷凝水或結冰;冷卻空氣:不含腐蝕性蒸汽、顆粒、導電顆粒及吸潮后變成導電的顆粒;冷卻水:配風冷式水冷機組,進水溫度20℃~25℃,進出水壓差0.15MPa~0.3MPa,冷卻水應使用軟化水避免結垢,冷卻管道應連接牢固避免泄漏,工作時必須保持冷卻水暢通。


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